ОБРЫВ АЛЮМИНИЯ НА СТУПЕНЬКЕ ОКИСЛА, ПОВРЕЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЗИРОВАННЫХ ДОРОЖЕК

Пока не существует аналитического выражения для подсчета времени на­работки на отказ металлизированной дорожки, учитывающего изменение зна­чений тока я температуры.

Из чисто физических соображений следует, что увеличение плотности тока приводит к росту числа соударений электронов с нонами металлов и, таким образом, к ускорению процесса электромиграции. Прирост температуры при­водит, с одной стороны, к увеличению энергии электронов (соответственно ионов металла), что ускоряет процесс электромиграции, а с другой — вызывает дезориентацию движения зарядов во внешнем электрическом поле н замедляет процесс. Однако считается, что в первом случае зависимость экспоненциальная, а во втором — гиперболическая, при достаточно большом нагреве дальнейшее увеличение температуры приводит к активизации процесса электромиграции.

Явление электромиграции разработчикам ИС хорошо известно, поэтому плотность тока в металлизации выбирается не 'более чем 105 А/см2, тогда элек-тромиграцией можно пренебречь во всем диапазоне рабочих температур.

Таким образом, повышением температуры я тока может быть ускорен отказ тех ИС, у которых имеют место сквозные или неоквозные царапины металлизированных дорожек, утончение дорожек на ступеньках окисла. Время наступления отказа колеблется в данном случае в пределах (100...500 ч.)

сканер a0 .